分析溶液用蠕動泵吸入ICP霧化器在霧化器毛細中心管出口處，因載氣流速很快（約150-200m/s），而液流速較慢，兩者之間產生摩擦力，液流被拉細并被氣流沖擊破碎成霧滴。形成zui初的氣溶膠流，成為一次氣溶膠。氣溶膠流在前進過程中，大氣溶膠受到氣流沿徑向和切向動壓力的作用進一步細化，較細的氣溶膠被載氣送入等離子體。未被細化的氣溶膠凝聚成液滴后排出廢液容器。

　　

　　ICP霧化器是用超聲波振動的空化作用把溶液霧化成氣溶膠。超聲霧化器裝置比氣動霧化裝置復雜，由超聲波發生器、進樣器、霧室、去溶裝置幾部分組成.使用時常用進樣器（蠕動泵）把試樣溶液輸入霧室，由超聲波發生器的電磁振蕩通過高頻電纜與霧室中的換能器（例如鋯鈦酸鉛壓電晶片）相連，晶片在高頻電壓作用下產生諧振，將電磁能轉變為機械能而產生超聲波，當超聲波連續輻射到霧室中試樣溶液時，由于樣品溶液與空氣界面間的空化作用，使液體形成氣溶膠，然后用載氣通過霧室把試樣氣溶膠去溶后引入炬管。采用超聲霧化時氣溶膠產生速度和載氣流量可分別選擇*條件，所產生的氣溶膠霧滴更細更均勻，ICP霧化器霧化效率可提高10倍，如果樣品基體不復雜的話，超聲霧化器的檢出限要比氣動霧化器的好一個數量級左右，如果有干擾，例如背景漂移或光譜重疊，則這些效應亦以同樣的程度增加。同樣，當被霧化的溶液含鹽較高時，在等離子炬管的中心管上的積鹽也會增加。超聲霧化器的記憶效應較大，與氣動霧化器相比，穩定性還有待進一步提高。